日立发布新型电子显微镜Regulus系列

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日立发布新型电子显微镜Regulus系列

  近日,日立发布新型场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)全新品牌 "Regulus®系列"。
 

 
  此次发布的机型包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240",共4个机型,均实现了分辨率和操作性的强化。
 
  本次发布的新品牌 "Regulus系列" 电子光学系统进行了最优化处理,使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20%。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm,"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外,最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大,并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。
 
  除此之外,为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能,还对用户辅助工能进行了强化,如信号检测系统的操作辅助功能,维护辅助功能等。
 
  主要特点:
 
  搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪
 
  跟前代机型相比分辨率大约提高了20%
 
  (Regulus8220/8230/8240:0.9 nm/1 kV,Regulus8100:1.1 nm/1 kV)
 
  最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*1
 
  用户辅助功能,帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来
 

 
  编辑点评
 
  扫描电子显微镜被广泛应用于纳米技术,半导体、电子行业、生命科学材、料科学等领域的材料结构观察。日立高新技术以2020年成为电子显微镜行业全球第一为目标和中期经营战略,不断加强研发,相信今后日立高新技术将研发更先进的电镜产品,发展成为最先进、最前沿的事业创造企业。
 
  (原标题:新型场发射扫描电子显微镜「Regulus®系列」上市)

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